第1163章 镀膜卡关！自研破垄断 (第1/2页)
反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题，犹如两座必须翻越的冰山。
苏定平深深明白，即便龙心实验室掌握了核心工艺，也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
这太奢侈了！
拿着那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册，以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片，苏定平带着技术转让意向书，亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
所长郑玉，一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员，亲自在研究所门口迎接。
他知道苏定平现在在做的事情，更清楚龙心实验室目前顶着多大的压力。
会议室内，苏定平没有客套，直接将图纸和样品推了过去。
“郑所长，龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破，这是工艺图纸和试验样品的数据报告。”
郑玉一开始神情凝重。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸，戴上老花镜，他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份，拿着图纸的手就猛地一抖！眼神陡然锐利得像探照灯，死死盯着图纸上“离子束原子级刻蚀”、“动态补偿模型”的字眼和结构图。
紧接着，目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
“温度场梯度驱动原子吸附”、“分子级脉冲阀门时序控制”……他的呼吸陡然变得粗重起来！
“这……这图纸……”
郑玉猛地抬起头，眼神直勾勾盯着苏定平，声音带着激动和难以置信的颤抖。
“苏总工！你们……你们这是怎么搞出来的？这思路……这工艺！完全是颠覆性的！跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念！还有这ALD工艺的改进点，简直神了！”
他放下图纸，几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片，对着光仔细查看那光滑如无物般的表面。
“你们抛光的面型精度……”
“实测RMS误差0.078nm，首批试验片全部在这个数值区间。”
苏定平沉声道。
郑玉倒吸一口冷气！
他又扑到一旁的检测仪器前，不顾身份地亲自操作，将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹！薄膜的均匀性、层间的界限清晰度，都让郑玉的眼睛越瞪越大。
“老郑？”
旁边几位副所长看他半天不说话，着急地催促。
郑玉猛地站起身，转过身，脸上因为激动涨得通红，他用力拍着自己的大腿。
“好！好！太好了！苏总工！了不起！太了不起了！”
他几乎是吼出来的。
“这技术！
这精度！别说合格！
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强！还要稳定！强一截！”
他一把抓住苏定平的手，握得死紧。
“苏总工！
这份图纸和技术，我们927所，全力配合！我们有全国最好的光学冷加工基地，有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干！我敢立军令状！
就凭这张图，这份工艺，我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜，而且性能，绝对能压ASM一头！彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙！”
苏定平感受着手臂上传来的巨大力量，看着眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒，心中悬着的一块巨石终于落下一半。
“那就拜托郑所长了！时间紧！需要哪方面的协同实验，龙心团队全力配合！”
“没问题！”
郑玉拍着胸脯。
“你这份图纸和工艺一到，就是我们全所的冲锋号！”
几个月后，第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统，在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时，所有人看到那醒目的结论——“核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm；薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm；综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品”。
这一刻，没人欢呼雀跃，反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看着报告上那令人眩晕的数据对比，嘴唇微微翕动了几下，最终只发出几个嘶哑的音节。
“成了……真他娘的……干成了！”
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上，硬生生被砸出了一个巨大的缺口！
苏定平重重地靠倒在椅背上，仰头看着天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随着巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
“终于……迈出了实质性的一大步。”
他闭上眼，轻声说道。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
“定平。”
袁涛的声音透着前所未有的凝重。
“这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的硅芯片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。”
他抬起手，指尖指着面板上的技术指标，那数字触目惊心。
“移动速度要达到每秒数米以上！”
“移动精度要控制在小于3纳米以内！”
“这相当于在一万米外投篮球，误差不能超过一根头发的直径！”
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